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适用范围：
应用于第三代半导体材料碳化硅晶片的抛光工序，碳化硅材料具备超硬特性，常规氧化硅抛光液存在抛光效率慢的问题，
本产品在Si面碳化硅抛光上具有很好的表现，它有高效的去除速率，抛光后的碳化硅表面缺陷较少，同时在抛C面碳化硅
时亦可以获得良好的表面质量，从而确保被抛工件有较高的抛光效率及良品率，提高客户产品竞争力。
主要技术指标：
抛光液参数
粒径D50
80-120 nm
PH值
2-3
固含量
5-8%
颜色
紫红色
包装
5KG/桶 20KG/桶
0086-731-85512306
0086-731-85512302
