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BGY-717

BGY-717
  • 商品详情

适用范围：

应用于第三代半导体材料碳化硅晶片的抛光工序，碳化硅材料具备超硬特性，常规氧化硅抛光液存在抛光效率慢的问题，

本产品在Si面碳化硅抛光上具有很好的表现，它有高效的去除速率，抛光后的碳化硅表面缺陷较少，同时在抛C面碳化硅

时亦可以获得良好的表面质量，从而确保被抛工件有较高的抛光效率及良品率，提高客户产品竞争力。

主要技术指标：

抛光液参数

粒径D50

80-120 nm

PH值

2-3

固含量

5-8%

颜色

紫红色

包装

5KG/桶   20KG/桶


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